压电陶瓷精密位移台
技术指标
MODEL GO STAGE LLS4545 GO STAGE LLS6545 GO STAGE LLS8545
定位
行程(X) 20 mm 35 mm 50 mm
传感器类型 Incremental Encoder Absolute Encoder Absolute Encoder
传感器分辨率 2 nm 4 nm 4 nm
最小位移增量 2 nm 4 nm 4 nm
双向重复定位精度 +- 100 nm (typ. @ full travel)
线性定 +- 2 µm (typ.)
PITCH +- 150 µrad (typ.)
YAW +- 150 µrad (typ.)
运动
运行时推拉力 5 N (min.)
保持 力(断电自锁) 6 N (min.)
最大速度 (空载) 8 mm/s
最大速度 (在最大输出力的情况下) 5 mm/s (min.)
驱动形式
电机驱动形式 LEGS 行走式压电陶瓷驱动
机械参数
最大负载能力 Z 方向 0,5 kg，XY 方向 2KG
导轨 高精度交叉滚子导轨
尺寸 45x45x14 mm 65x45x14 mm 85x45x14 mm
重量 (W/O 线缆& 接头) 75 g (+-10%) TBD TBD
其他
线缆工长度 2 m (+-5%)
材料 铝
可提供 10-6 mbar 高真空版本
